半導体

光電センサでは実現できなかった工数を削減する手段とは？

位置情報を距離として出力する距離判別センサで安定検出

検出ワークの色が変わるたびに設定変更が必要で、スループットが伸び悩んでいる

受光量判別式の光電センサを活用する上での問題点… 「スループットを向上させる」、「コストを削減する」
製造業にとっての永遠のテーマ。特に、半導体メーカー様はそこを意識してものづくりをされているのではないでしょうか？

生産性が上がらない原因の一つは、ウェハ搬送の工程にも存在します。 FOUPやFOSBの搬送や移し替えを行う際は、センサでFOUPやFOSBの存在を確認し、次の段取りに移ります。その際、従来のような光電センサ等の受光量判別式のセンサでは、ワークの色や凸凹等の形状、材質などで受光量が変わってしまうと検出が不安定になりがちです。それを避けるため、FOUPやFOSBが変わるたびに感度調整作業を行っていましたが、スループット向上の妨げとなるのみならず、それにかかる時間や、工数がコストアップの要因となっていました。高価な画像センサを導入すれば、設定を都度変更する必要はなくなるものの、導入コストが気になる。そうお悩みではないでしょうか？

ワークの色や形に影響されにくい距離判別センサで解決

課題を解決するために、最適なセンサ…
それは高精度かつFOUPやFOSBの色、形の違いに関わらず安定検出できるセンサではないでしょうか？
そこで、IDECが提案したいのはその両方を満たす距離判別センサ「SA1Q形」です。

検出能力

CMOSリニアアレイを原理とした距離判別センサ

一般的に光電センサのような反射型センサは検出物（ワーク）の色によって検出距離が変わります。
反射光の受光量の変化を検出しているため、色ごとの光の吸収率が影響するためです。
一方、「SA1Q形」は検出物体にスポットを照射し、検出物との反射光の角度の違いで検出する「三角測距方式」のセンサです。 CMOSを採用したセンサ内の検出素子が細かい間隔でライン上に並んでおり、対象物との距離が変わると、素子上で集光される位置が変わり、その位置情報を距離として出力するものです。受光量ではなく、入ってくる光の位置で検出を行うことで、検出物の色の影響をほとんど受けることがありません。

使いやすさ

サブミリ単位での表示が可能(検出距離110㎜タイプ)

0.1㎜単位での表示が可能で、細かく設定値を変更することができ、細かく距離を計測をすることが可能です。
また、傾斜LEDディスプレイ表示はあらゆる方向から見やすいデザインで、ストレスのない作業が可能です。

各種出力形式をラインアップ

NPN/PNP出力だけでなく、電圧、電流出力、IO-Link出力を用意。アナログ出力により有無検出だけでなく、距離検出も可能としています。計測データログを残すことができるので、エラーが起きた際の状況分析に役立てることができます。
IO-LinkタイプはIoT時代に最適。通常の測定値だけでなく、受光余裕度もチェックできるので予知保全にも活用できます。

画像センサのように高価ではなく、用途に必要な能力を兼ね備えたセンサ「SA1Q形」。採用ユーザー様からは、設定変更の工数がなくなり生産効率があがったと喜びの声を頂いています。