Eigensichere Maßnahmen | EMEA
Wesentliche Maßnahmen implementieren, um das Explosionsrisiko zu minimieren
Explosionen präzise verhindern, indem mögliche Zündquellen eliminiert werden
Herkömmliche Maßnahmen können das Explosionsrisiko nicht vollständig ausschließen
In der Halbleiterfertigung, in der regelmäßig gefährliche Chemikalien und Gase eingesetzt werden, implementieren Hersteller verschiedene Sicherheitsmaßnahmen für jedes einzelne Gerät. Dies ist weithin bekannt — jedoch wird oft übersehen, dass trotz dieser Maßnahmen das Explosionsrisiko in Halbleiterfabriken niemals vollständig auf null reduziert wird.
Hochentzündliche Gase wie Wasserstoff, Propan und Arsinhydrid werden in diesen Prozessen verwendet. Eine herkömmliche Methode zur Vermeidung von Explosionen besteht darin, Geräte mit Stickstoff zu füllen, um Lichtbogenbildung (eine Art Gasentladung) zu verhindern. Dies mag ausreichend erscheinen, bietet jedoch keine absolute Sicherheit.
Wenn bei der konventionellen Stickstoffbefüllung der Mechanismus versagt, kann dennoch eine explosionsfähige Atmosphäre entstehen. Das Risiko einer Explosion kann auf diese Weise nicht vollständig ausgeschlossen werden.
Wie lassen sich also geeignete explosionsgeschützte Maßnahmen und Systeme in Halbleiterfertigungsanlagen umsetzen?
Eigensichere Explosionsschutzmaßnahmen sind entscheidend, um das Risiko von Explosionen zu eliminieren
Für eine Explosion sind drei Faktoren erforderlich: ein brennbares Gas, ein oxidierendes Gas (z. B. Sauerstoff), eine Zündquelle.
Das bedeutet: Wird einer dieser Faktoren vollständig aus der Umgebung entfernt, kann eine Explosion intrinsisch verhindert werden.
Da es äußerst schwierig ist, Sauerstoff aus einer Halbleiterfertigungsumgebung vollständig zu eliminieren, ist die realistischste Methode die Beseitigung von Zündquellen.
IDEC verfügt über mehr als sieben Jahrzehnte Erfahrung in der Forschung und Entwicklung von Explosionsschutztechnologien. Wir bieten eigensichere, explosionsgeschützte Relaisbarrieren an, die mit sehr niedrigen Strömen arbeiten — niedrig genug, um keine Zündung verursachen zu können.
In Geräten, die in explosionsgefährdeten Bereichen eingesetzt werden, wird die Verdrahtung, die Informationen von Sensoren und Sicherheitsgeräten an die Steuerung überträgt, als Hauptzündquelle angesehen. Durch Reduzierung von Strom oder Spannung unter einen bestimmten Grenzwert lässt sich verhindern, dass die Verdrahtung zur Zündquelle wird — und somit Explosionen verursachen kann.
IDEC-Relaisbarrieren empfangen das schwache Signal aus Gefahrenbereichen mit explosionsfähiger Atmosphäre und verstärken es in einem sicheren Bereich. So kann die Information an die Steuerung übertragen werden, ohne eine Explosion zu riskieren.
Unser umfangreiches Portfolio an explosionsgeschützten Produkten und unsere langjährige Erfahrung gewährleisten umfassende Unterstützung
Eigensichere, explosionsgeschützte Produkte von IDEC sind in der Regel kleiner, leichter und kostengünstiger als andere vergleichbare Explosionsschutzgeräte. Sie unterstützen zudem digitale und analoge Ein- und Ausgänge, was die Planung und Konstruktion von Sensoren, Schaltern und anderen Geräten für gefährliche Bereiche erleichtert.
Wir verfügen über eine umfangreiche Erfolgsgeschichte bei der Unterstützung von Kunden bei der Umsetzung von Explosionsschutzmaßnahmen in ihren Arbeitsumgebungen. Kontaktieren Sie uns gerne für Empfehlungen zu den am besten geeigneten Produkten sowie für Hinweise zur Planung und Konstruktion, um Schäden und Gefahren durch Explosionen zu verhindern.
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