半導体製造装置向けの『φ22mmの各種停止用押ボタンスイッチ向け、スイッチガード 3機種(新形状2機種、新色1機種)』、『φ16停止用押ボタンスイッチ「XAシリーズ」 黄色押ボタンタイプ28機種』、『φ22停止用押ボタンスイッチ「XWシリーズ」 黄色ボタンタイプ16機種』、『銘板 8機種』を 6月26日(金)より新発売いたします。
※今回発売するスイッチガードや黄色ボタンのスイッチ、銘板は、『SEMI S2 0706』・『SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93』・『SEMI S26-0308』に基づく各種停止用押ボタンスイッチ用として開発・発売いたします。

[主な用途]
半導体製造装置全般の緊急遮断用スイッチ・停止用スイッチ
[主な特長]
■内径φ76、幅75mmの新形状スイッチガード(2機種)
◇誤操作防止用の新形状スイッチガードは「φ22 XWシリーズ」や「φ22 HWシリーズ」との組合せにより、TUVラインランドの適合確認(SEMI-S2 0706 12.5.1要求事項)を受けています。
◇ガード内径φ76、XWシリーズ・Hシリーズとの高さ3mm以下(銘板併用時を含む)のため SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93にも準拠しています。
◇新形状スイッチガードへ銘板を装着すれば、スイッチガード内部への文字表示や、白ガード・ボタン背景黄色の組み合わせも可能です。
■より優れた安全性を持つ 停止用黄色押ボタンスイッチ
◇「φ22 XWシリーズ」、「φ16 XAシリーズ」はIDEC独自のセーフブレイクアクションやセーフティポテンシャル構造により 優れた安全性を確保しています。
【セーフブレイクアクション】 : スイッチの操作部から接点部(接点ユニット)を外してもメイン接点は「直接開路動作機能」によりOFF!
【セーフティポテンシャル構造】 : ノーマル状態(ON)よりロック状態(OFF)時の方が、内部エネルギーが低いため、衝撃などによりスイッチが破損した場合でもOFF(安全側)に移行!
◇SEMI S26-0308(ローカル/部分的な停止用スイッチ)への使用も前提に黄色ボタンの機種を充実させ、白色ガードや白色銘板も準備しました。
◇「直接開路動作機能」や操作時には押ボタンのロックと同時に接点が働く「セーフィティロック機構」など、国際規格IEC60947-5-5で求められる非常停止用スイッチの要件も満たしています。
[SEMI規格とは?]
Semiconductor Equipment and Materials International (国際半導体製造装置材料協会) SEMI規格とは、半導体業界製造装置やフラットパネルディスプレー装置および材料メーカーで構成された業界団体のガイドラインであり、半導体業界においては事実上国際標準に等しく扱われています。
◇「SEMI S2 0706」
【12.4項】:全ての緊急遮断ボタンには「EMO」、「緊急遮断(Emergency Off)」、あるいはこれに相当するラベル表示を明確にすべきであり、また見る位置から明確に判読可能にすべきである。ラベルはボタン上、あるいは黄色の背景上に表示することができる。
【12.5.1項】:緊急遮断ボタンは、誤りによる作動がもっとも起こり難いように配置するか、あるいはガードを付けるべきである。
◇「SEMATECHとは」
SEMI規格内のアプリケーションの一つである。その中で「SEMI S2-93」では12.4項cにガードの内径 φ75以上、ボタンとガードとの高さ 3mm以内を求めています。
◇「SEMI S26-0308」
限定された場所や一部分のみを停止(部分停止)するスイッチの場合には、従来の赤色ボタンと黄色背景の組合わせが使用できません。そこで部分停止が必要な機械や装置に、IDEC から黄色ボタンや白色背景にする銘板・ガードをご提案します。